Silisyum karbür bir bileşik formunda bulunur. O ve oksijen kararlı oksitler oluşturabilir. Ana işlevi çeşitli alaşımlar üretmektir.
Üretim sürecinde hammadde olarak ağırlıklı olarak kuvars ve silika kullanılmakta ve elektrotermal yöntemle üretilmektedir. Yaygın olarak kullanılan silisyum karbür, rengine göre iki türe ayrılır: siyah silisyum karbür ve yeşil silisyum karbür. Siyah silisyum karbürdeki silisyum içeriği yeşil silisyum karbürdekinden biraz daha düşüktür; siyah silisyum karbürün tokluğu yeşil silisyum karbürden daha yüksek olmasına rağmen seramik, refrakter malzemeler vb. gibi daha düşük basınç dayanımına sahip malzemeler için kullanılabilir; ve Yeşil silisyum karbür, iyi kendiliğinden bilenme özelliklerine sahiptir ve semente karbür, titanyum alaşımları ve bazı ince öğütülmüş yüksek hız çeliği aletlerinin işlenmesinde kullanılabilir.
Ferrosilikon nitrür iyi yüksek sıcaklık özelliklerine, korozyon direncine, aşınma direncine ve sinterleme özelliklerine, yüksek ısı iletkenliğine, küçük termal genleşme katsayısına ve diğer avantajlara sahiptir. Yüksek fırın çamurunda yaygın olarak kullanılmasının yanı sıra karbon içeren refrakterlerde de kullanılmaktadır. Yüksek sıcaklıktaki yapısal malzemeler ve magnezya dökülebilir malzemeler gibi refrakter malzemelerde geniş uygulama olanaklarına sahiptir. Biriktirme yöntemleri farklı olduğundan üretilen silikon nitrür filmler de farklıdır ve gerilim ile gerilim arasında da farklılıklar olacaktır. Özellikle plazma ile güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme teknolojisi kullanıldığında, gerilimini azaltacak şekilde biriktirme parametreleri ayarlanabilmektedir.
