Henry Edin St. Clair Deville ve Friedrich Wöhler ilk olarak 1857'de silikon nitrür sentezini bildirdi. Bildirdikleri sentez yönteminde, silikon içeren bir pota karbonla dolu bir potaya gömüldü ve oksijen infiltrasyonunu azaltmak için ısıtıldı. Silikon nitrür olarak adlandırdıkları bir ürün bildirdiler, ancak kimyasal bileşimini bulamadılar. 1879'da Paul Schuetzenberger, astarla karıştırdı (kömür, kömür veya kola kil ile karıştırılarak elde edilen, pota astarı olarak kullanılabilen bir macun) ve bir kabarık fırında ısıttı ve Si3n4'ün bileşimi ile bir bileşik olarak bildirdi. 1910'da Ludwig Weiss ve Theodor Engelhardt SI3N4 elde etmek için saf azotta silikonu ısıttılar. 1925'te Friederich ve Sittig, silikon nitrürü sentezlemek için bir azot atmosferinde silikon dioksit ve karbona 1250-1300 derecesine karbotermal indirgeme kullandı.
Silikon nitrür ciddiye alınmadı ve silikon nitrürün ticari uygulamaları ortaya çıkana kadar onlarca yıl incelendi. 1948'den 1952'ye kadar, New York Niagara Şelalesi yakınlarındaki Acheson'un Elmas Şirketi, silikon nitrürün üretimi ve kullanımı için birkaç patent kaydetti. 1958'de Union Carbide tarafından üretilen silikon nitrür, metalleri eritmek için termokupl tüpleri, roket nozulları ve haçlar yapmak için kullanıldı. İngiltere'de silikon nitrür üzerine yapılan araştırmalar, gaz türbinleri için yüksek sıcaklık parçaları yapmak amacıyla 1953'te başladı. Bu, bağlı silikon nitrür ve sıcak preslenmiş silikon nitrür geliştirilmesine yol açtı. 1971'de ABD Savunma Bakanlığı altındaki Savunma İleri Araştırma Projeleri Ajansı, iki seramik gaz türbini geliştirmek için Ford ve Westinghouse ile 17 milyon dolarlık bir sözleşme imzaladı.
Silikon nitrürün özellikleri uzun zamandır bilinmesine rağmen, yeryüzünde doğal olarak var olan silikon nitrür (yaklaşık 2 × 5 um boyutunda) 1990'lara kadar meteoritlerde keşfedilmemiştir. Doğada bulunan bu tür silikon nitrür cevheri, kitle spektrometresi araştırmalarında öncü olan Alfred Otto Carl Nier'in onuruna "nierit" olarak adlandırılır. Bununla birlikte, daha önce eski Sovyetler Birliği Azerbaycan'daki göktaşlarında bu tür silikon nitrür cevheri bulunmuş olabileceğine dair kanıtlar vardır. Silikon nitrür mineralleri içeren göktaşları da Çin Guizhou eyaletinde bulunmuştur. Dünyadaki meteoritlerde var olana ek olarak, silikon nitrür de uzaydaki kozmik toza dağıtılır.
